[发明专利]用于在基板上烧结电子器件的烧结压机

摘要

一种用于在基板(12)上烧结电子器件(10)的烧结压机(1)，该烧结压机(1)包括：加压单元，包括多个压杆(112)，该压杆(112)可被控制以将烧结压力施加到待烧结的电子器件(10)；多个反作用元件(40)，每个反作用元件(40)形成未用于相应的基板(12)的支撑平面；元件板(70)，适于可滑动地支撑反作用元件(40)；以及加热电路(72)，其包括嵌入在加热体(76)中的加热元件，该加热体(76)围绕元件板(70)放置，以使元件板(70)达到烧结温度。热扩散板(80)被放置成与加热体(76)接触并且在反作用元件(40)之间、在元件板(70)上延伸，热扩散板(80)由导热性高于元件板(70)(例如，钢)的导热性的材料(例如，铜(Cu))制成。热扩散板(80)可以包括：至少两个端集热器(82)，彼此相对且固定，每个端集热器(82)跨越加热体(76)和元件板(70)；以及中央栅格(84)，与元件板(70)接触地围绕反作用元件(40)延伸。加压单元还可以包括加压加热板(110)，该加压加热板(110)可滑动地支撑压杆(112)，加压加热板(110)包括：内板(114)，适于可滑动地支撑压杆(112)；以及加压加热体(116)，围绕内板(114)放置并且设置有适于加热内板(114)并且由此加热压杆(112)的加热装置(118)，其中，加压单元还可以包括第二扩散板(120)，该第二扩散板(120)被放置成与加压加热体(116)接触并且在压杆(112)之间、在内板(114)上延伸，该第二扩散板(120)由导热性高于内板(114)(例如，钢)的导热性的材料(例如，铜(Cu))制成。可以在热扩散板(80)和/或第二扩散板(120)中制作补偿孔(88、124)，以确保所有反作用元件(40)和/或所有压杆(112)的均匀加热。烧结压机(1)还可以包括多个负荷传感器(50)，每个负荷传感器(50)可操作地连接到反作用元件(40)，使得所述负荷传感器(50)通过反作用元件(40)来检测由一个或多个压杆(112)施加的力，该负荷传感器(50)容纳在可操作地连接到冷却电路(54)的传感器保持板(52)中。每个反作用元件(40)可以具有：加热部(40a)，穿过元件板(70)并且该加热部(40a)适于通过传导将元件板(70)的热传递到基板(12)；以及冷却部(40b)，成形以便耗散从元件板(70)传递到加热部(40a)的热。冷却部(40b)可以包括轴向连续的耗散盘(44)，该耗散盘(44)与反作用元件(40)的轴线同轴地延伸。冷却部(40b)可以配备有面向负荷传感器(50)的红外屏(46)。