[发明专利]玻璃微粒沉积体的制造装置以及制造方法有效
申请号: | 201980079132.9 | 申请日: | 2019-12-04 |
公开(公告)号: | CN113227000B | 公开(公告)日: | 2022-10-21 |
发明(设计)人: | 守屋知巳 | 申请(专利权)人: | 住友电气工业株式会社 |
主分类号: | C03B8/04 | 分类号: | C03B8/04 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 常海涛;金小芳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种在配置于反应容器内的起始棒上沉积玻璃微粒以制作玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体制造装置,具备:燃烧器,其喷射原料气体以合成玻璃微粒;移动机构,其配置有燃烧器,并使燃烧器随着玻璃微粒沉积体的直径增大而后退;气化器,其以与燃烧器一体地同时后退的方式配置在移动机构中,并使液体的硅氧烷气化以成为原料气体;配管,其将原料气体从气化器供给到燃烧器;以及加热机构,其在230℃以上的加热温度下加热配管。 | ||
搜索关键词: | 玻璃 微粒 沉积 制造 装置 以及 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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