[发明专利]包含接合到支撑管芯的两侧的存储器管芯的三维半导体芯片及其制造方法在审

专利信息
申请号: 201980079706.2 申请日: 2019-11-25
公开(公告)号: CN113169183A 公开(公告)日: 2021-07-23
发明(设计)人: 周非;R·S·马卡拉;A·拉贾谢哈尔;R·沙朗帕尼 申请(专利权)人: 桑迪士克科技有限责任公司
主分类号: H01L27/1157 分类号: H01L27/1157;H01L27/11578;H01L27/11582;H01L23/00;H01L23/522
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 马爽;臧建明
地址: 美国德*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明公开了一种支撑管芯,该支撑管芯包括互补金属氧化物半导体(CMOS)器件、电连接到外围电路的第一子集的前支撑管芯接合垫和电连接到外围电路的第二子集的背侧接合结构。包括第一存储器元件三维阵列的第一存储器管芯接合到支撑管芯。第一存储器管芯的第一存储器管芯接合垫接合到前支撑管芯接合垫。包括第二存储器元件三维阵列的第二存储器管芯接合到支撑管芯。第二存储器管芯的第二存储器管芯接合垫接合到背侧接合结构。
搜索关键词: 包含 接合 支撑 管芯 两侧 存储器 三维 半导体 芯片 及其 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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