[发明专利]用于确定样品表面处的压力的方法在审
| 申请号： | 201980079910.4 | 申请日： | 2019-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN113169016A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 彼得·阿曼;安德斯·尼尔森 | 申请（专利权）人： | 盛达欧米科有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/285 | 分类号： | H01J37/285;G01N23/2273 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 王侠 |
| 地址： | 瑞典乌*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种用于监测放置在样品区域(2)中的样品(1)的样品表面(Ss)处的样品压力的方法，其中样品表面(Ss)面对位于壁(6)中的孔(3)，该壁将样品区域(2)与被抽真空的低压腔室(4)分隔开。该方法包括以下步骤：确定样品表面(Ss)处的样品参考压力与低压腔室(4)中的腔室参考压力之间的关系；将样品(1)设置成使样品表面(Ss)在距孔(3)一段距离处面对孔(3)(103)；提供样品压力(104)；测量低压腔室(4)内的腔室压力(105)；以及使用测得的腔室压力以及所确定的样品参考压力和腔室参考压力之间的关系来确定样品压力(106)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 样品 表面 压力 方法 | ||
【主权项】：
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