[发明专利]用于大量生产过程监视的宽松耦合检验及计量系统在审
| 申请号： | 201980079978.2 | 申请日： | 2019-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN113348358A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 吴松;徐寅;A·舒杰葛洛夫;列-关·里奇·利;P·罗维拉;J·马德森 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/59 | 分类号： | G01N21/59;H01L21/66;G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 揭示一种计量系统。在一个实施例中，所述计量系统包含通信地耦合到参考计量工具及光学计量工具的控制器，所述控制器包含经配置以进行以下操作的一或多个处理器：产生用于从来自参考计量工具的计量数据确定测试HAR结构的轮廓的几何模型；产生用于从来自所述光学计量工具的计量数据确定测试HAR结构的一或多个材料参数的材料模型；从所述几何模型及所述材料模型形成复合模型；使用所述光学计量工具测量至少一个额外测试HAR结构；及基于所述复合模型及来自所述光学计量工具的与所述至少一个HAR测试结构相关联的计量数据确定所述至少一个额外测试HAR结构的轮廓。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 大量 生产过程 监视 宽松 耦合 检验 计量 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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