[发明专利]高分辨率激光诱导正向转移有效

专利信息
申请号: 201980080372.0 申请日: 2019-12-03
公开(公告)号: CN113165379B 公开(公告)日: 2022-11-11
发明(设计)人: 加里·阿鲁蒂诺夫 申请(专利权)人: 荷兰应用自然科学研究组织TNO
主分类号: B41J2/005 分类号: B41J2/005;B23K26/00;H05K3/00;B23K3/06
代理公司: 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 代理人: 王达佐;王艳春
地址: 荷兰*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 在用于激光诱导正向转移(LIFT)的方法和系统中,根据非高斯强度分布(Ixy)来传递能量(E1、E2),该强度分布(Ixy)在供体材料(11m)的界面(11xy)上进行空间上的调整,以使供体材料(11m)从供体衬底喷射作为延伸射流(Je),该延伸射流(Je)在转移周期(Tt)期间暂时地桥接供体衬底(11)与接收衬底(12)之间的转移距离(Zt)。强度分布(Ixy)的中心处的局部增强的强度尖峰(Is)使供体材料的相对厚的射流(J1)在供体衬底(11)和接收衬底(12)之间的分支位置(J12)处分支成相对薄的射流(J2)。厚的射流(J1)允许相对大的转移距离(Zt),而薄的射流(J2)沉积相对小的供体材料(11m)的液滴(Jd)。
搜索关键词: 高分辨率 激光 诱导 正向 转移
【主权项】:
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