[发明专利]极紫外光刻用工艺液体及使用其的图案形成方法在审
| 申请号： | 201980081913.1 | 申请日： | 2019-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN113196178A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 李秀珍;金起洪;李昇勋;李昇炫 | 申请（专利权）人： | 荣昌化学制品株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请发明涉及一种用于对使用于极紫外光曝光光源的包括聚羟基苯乙烯(polyhydroxystyrene)的光致抗蚀剂图案进行坍塌程度改善及缺陷数减少的工艺液体，更详细地，涉及一种用于光致抗蚀剂图案的坍塌程度改善及缺陷数减少的工艺液体组合物及使用其的图案形成方法，其中，所述工艺液体组合物包括：0.0001至1重量％的碱性物质，0.0001至1重量％的阴离子表面活性剂，及98至99.9998重量％的水。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外 光刻 用工 液体 使用 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于荣昌化学制品株式会社，未经荣昌化学制品株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980081913.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：利用卫星影像的应用服务提供装置及方法
- 下一篇：用于隔室空间组织的系统和方法
