[发明专利]薄膜SAW器件在审

专利信息
申请号: 201980082642.1 申请日: 2019-11-29
公开(公告)号: CN113169720A 公开(公告)日: 2021-07-23
发明(设计)人: M·纳普;I·布莱尔;M·豪泽 申请(专利权)人: RF360欧洲有限责任公司
主分类号: H03H9/02 分类号: H03H9/02;H01L41/312
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 赵林琳
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 薄膜SAW器件包括:载体衬底(CA)、TCF补偿层(CL)、压电层(PL)以及在压电层的顶部上的IDT电极(EL)。功能层(FL)被布置在压电层与TCF补偿层之间以进一步减小TCF。考虑到声速、密度和刚度,功能层的材料特性与压电层的材料特性相匹配,使得功能层的材料特性与压电层的材料特性在不具有压电效应的情况下彼此之间的偏差不会超过10%。功能层可以具有与有用的压电层相同的晶体构造而没有压电特性。
搜索关键词: 薄膜 saw 器件
【主权项】:
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