[发明专利]压电材料和压电器件在审
申请号: | 201980083316.2 | 申请日: | 2019-12-18 |
公开(公告)号: | CN113196508A | 公开(公告)日: | 2021-07-30 |
发明(设计)人: | I·考特萨鲁夫;C·H·杭特加斯 | 申请(专利权)人: | RF360欧洲有限责任公司 |
主分类号: | H01L41/187 | 分类号: | H01L41/187;C23C14/06 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 赵林琳;郭星 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供了具有改进属性的压电氮化物复合材料。压电材料包括铝、氮以及二元和三元掺杂剂,该二元和三元掺杂剂可以选自银、铌和/或钪或者选自银和/或铌。 | ||
搜索关键词: | 压电 材料 器件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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