[发明专利]紫外光产生用靶及其制造方法、以及电子束激发紫外光源在审
| 申请号： | 201980083384.9 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN113196447A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 市川典男;池田光平 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | H01J63/04 | 分类号： | H01J63/04;H01J63/06 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 紫外光产生用靶(20)包括发光层(22)。发光层(22)包含至少添加有钪(Sc)的YPO4晶体，接收电子束(EB)而产生紫外光(UV)。此外，紫外光产生用靶(20)的制造方法包括制作含有钇(Y)的氧化物、Sc的氧化物、磷酸和液体的混合物的第1工序、使液体蒸发的第2工序、以及对混合物进行烧成的第3工序。由此，实现了包含与Sc:Al2O3不同的电子束激发的有用的发光材料的紫外光产生用靶及其制造方法、以及电子束激发紫外光源。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外光 产生 及其 制造 方法 以及 电子束 激发 紫外 光源 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浜松光子学株式会社，未经浜松光子学株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980083384.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
