[发明专利]控制装置、光学滤光器系统、控制方法有效
申请号: | 201980083819.X | 申请日: | 2019-09-09 |
公开(公告)号: | CN113242992B | 公开(公告)日: | 2023-03-10 |
发明(设计)人: | P·塞茨;H·泰希曼;柴山胜己;笠原隆 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G02B26/00 | 分类号: | G02B26/00;G01J3/26;G02B5/28 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 控制装置控制法布里‑帕罗干涉滤光器,该法布里‑帕罗干涉滤光器具有:一对镜部,其经由空隙互相相对;及一对驱动电极,其经由该空隙互相相对,且一对镜部间的距离根据蓄积于一对驱动电极间的电荷而变化。控制装置具备:第1驱动源,其使用电流作为控制参数而被控制,使一对镜部间的距离变化;第2驱动源,其使用电压作为控制参数而被控制,使一对镜部间的距离变化;及控制部,其在蓄积于一对驱动电极间的电荷与一对驱动电极间的电压的关系中,以在将包含电压的最大值的区域设为第1区域时,在第1区域中通过第1驱动源使一对镜部间的距离变化,在第1区域以外区域的至少一部分中,通过第2驱动源使一对镜部间的距离变化的方式,控制第1驱动源及第2驱动源。 | ||
搜索关键词: | 控制 装置 光学 滤光 系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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