[发明专利]锍盐、光产酸剂、固化性组合物和抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 201980088473.2 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN113286781B | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 中尾拓人 | 申请（专利权）人： | 三亚普罗股份有限公司 |
| 主分类号： | C07C309/04 | 分类号： | C07C309/04;C07C309/06;C07D335/16;C07F5/00;C07F5/02;C08G59/40;C09K3/00;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/20;C07F9/52 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于洁;庞东成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种对g射线或h射线具有高感光性的新的锍盐以及包含锍盐的新的光产酸剂等，所述锍盐对g射线或h射线具有高感光性，并且在溶剂和环氧化合物等阳离子聚合性化合物中的溶解性高，在其混配物中储藏稳定性优异。本发明涉及一种由下述通式(1)所示的锍盐和特征在于含有该锍盐的光产酸剂等。 |
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| 搜索关键词： | 锍盐 光产酸剂 固化 组合 抗蚀剂 | ||
【主权项】：
暂无信息
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