[发明专利]激光用腔装置、气体激光装置和电子器件的制造方法在审
| 申请号： | 201980088626.3 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN113287235A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 石井卓也;伊藤贵志;鲸凉太 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/038 | 分类号： | H01S3/038 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于英慧;崔成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 激光用腔装置可以具有：电介质的管；内电极，其沿着管的长度方向延伸，被配置于管的贯通孔内；外电极，其包含接触板和由多个条部件构成的阶梯部，该接触板沿着管的长度方向延伸，与管的外周面接触，该多个条部件的一端与接触板连接，该多个条部件沿着接触板的长度方向并列设置；以及板簧，其沿着管的长度方向延伸，将外电极按压于管，板簧包含被缝划分的多个板簧片，该缝是从沿着管的长度方向的缘部切出的，板簧片包含沿着缘部折曲的折曲部，在比折曲部靠缘部侧按压条部件。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 装置 气体 电子器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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