[发明专利]具有晶片封端光学件的晶片检查系统有效

专利信息
申请号: 201980090032.6 申请日: 2019-12-04
公开(公告)号: CN113366346B 公开(公告)日: 2023-06-20
发明(设计)人: A.帕奇迪斯;M.诺亚;F.兰格;F.沙珀;C.扎尔坦;M.哈特林;A.西多伦科;S.瓦加斯鲁伊兹 申请(专利权)人: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
主分类号: G02B1/14 分类号: G02B1/14
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 王蕊瑞
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种晶片检查系统,其使用UV和VUV辐射(11)工作且包括内部腔(17),所述内部腔可配备有气体且其中尤其定位有由MgF2制成的光学元件(122)。为了用水的吸附膜覆盖光学元件,进气口(18)设置有到系统的内部腔中的控制的水馈送,其允许设定内部空间中1ppm至多于10ppm的水分压。
搜索关键词: 具有 晶片 光学 检查 系统
【主权项】:
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