[发明专利]具有晶片封端光学件的晶片检查系统有效
申请号: | 201980090032.6 | 申请日: | 2019-12-04 |
公开(公告)号: | CN113366346B | 公开(公告)日: | 2023-06-20 |
发明(设计)人: | A.帕奇迪斯;M.诺亚;F.兰格;F.沙珀;C.扎尔坦;M.哈特林;A.西多伦科;S.瓦加斯鲁伊兹 | 申请(专利权)人: | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
主分类号: | G02B1/14 | 分类号: | G02B1/14 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 王蕊瑞 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
本发明涉及一种晶片检查系统,其使用UV和VUV辐射(11)工作且包括内部腔(17),所述内部腔可配备有气体且其中尤其定位有由MgF |
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搜索关键词: | 具有 晶片 光学 检查 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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