[发明专利]用于产生非热等离子体的电极装置和等离子体源，以及操作等离子体源的方法在审
| 申请号： | 201980090322.0 | 申请日： | 2019-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN113366922A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 马克西米兰·坎茨勒;汉内斯·魏尔曼 | 申请（专利权）人： | 特拉等离子体有限责任公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 杨媛媛 |
| 地址： | 德国慕尼黑*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于产生非热等离子体的电极装置，该电极装置具有：第一电极和第二电极，其中第一电极和第二电极彼此电绝缘并且通过介电元件彼此间隔开，其特征在于，第二电极具有化学镍金(ENIG)涂层，或化学镀镍钯浸金(ENEPIG)涂层，或化学镀镍浸钯浸金(ENIPIG)涂层，或化学镀钯(EP)涂层，或化学钯金(EPIG)涂层，和/或介电元件由玻璃纤维增强型碳氢陶瓷制成。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 产生 等离子体 电极 装置 以及 操作 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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