[发明专利]光谱仪系统和用于测试光谱仪系统的方法在审

专利信息
申请号: 201980090942.4 申请日: 2019-12-18
公开(公告)号: CN113366288A 公开(公告)日: 2021-09-07
发明(设计)人: 费利克斯·克斯坦;于尔根·格贝尔 申请(专利权)人: 卡尔蔡司光谱学有限公司
主分类号: G01J1/08 分类号: G01J1/08;G01J3/02;G01J3/42;G01N21/27
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 潘小军;杨靖
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及光谱仪系统和用于测试光谱仪系统的方法。光谱仪系统包括设有窗的壳体,在壳体中布置有照明源、光谱仪和用于内部重新校准的标准件。在使用标准件的情况下拾取参考光谱,在该参考光谱中识别在壳体中存在的填充气体的独特的吸收带,其中,分别测量表征各自的识别出的独特的吸收带的波长,从而得到针对吸收带的波长的测量值。在使用标准件的情况下以光谱仪拾取测试光谱。在测试光谱中识别填充气体的独特的吸收带,其中,分别测量表征各自的识别出的独特的吸收带的波长,从而得到针对独特的吸收带的波长的测量值。根据本发明,测试:在测试光谱中识别出的吸收带的波长的测量值与在参考光谱中识别出的吸收带的波长的测量值是否相差不超过预先确定的尺度。
搜索关键词: 光谱仪 系统 用于 测试 方法
【主权项】:
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