[发明专利]气体检查装置中的气体供给部的清洗方法在审
| 申请号： | 201980092902.3 | 申请日： | 2019-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN113474632A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 桥本红良 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01N1/00 | 分类号： | G01N1/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种气体检查装置中的气体供给部的清洗方法，对用于从供给口(P01～P12)经由供给路向检查部供给试样气体的气体供给部(8)进行清洗，其中，对供给口(P01～P12)连接封入有氮气的袋状体，并且将供给路减压固定时间。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 检查 装置 中的 供给 清洗 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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