[发明专利]辐射检测装置及其制备方法在审
申请号: | 201980093755.1 | 申请日: | 2019-03-29 |
公开(公告)号: | CN113544547A | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 刘雨润;曹培炎 | 申请(专利权)人: | 深圳帧观德芯科技有限公司 |
主分类号: | G01T1/24 | 分类号: | G01T1/24 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518071 广东省深圳市南山区桃源街道塘朗*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本文公开了一种用于检测辐射的装置及其制备方法。该方法包括在半导体衬底(102)中形成凹部(104),其中所述半导体衬底(102)的一部分(107)延伸到所述凹部(104)中并且被所述凹部(104)包围;将半导体纳米晶体(106)沉积到所述凹部(104)中,所述半导体纳米晶体(106)具有与所述半导体衬底(102)不同的组成;在所述半导体衬底(102)中形成第一掺杂半导体区(108);在所述半导体衬底(102)中形成第二掺杂半导体区(109);其中所述第一掺杂半导体区(108)和所述第二掺杂半导体区(109)形成将所述部分(107)与所述半导体衬底(102)的其余部分分开的p‑n结。 | ||
搜索关键词: | 辐射 检测 装置 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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