[发明专利]用于薄膜沉积的固体前体进料系统有效
| 申请号： | 201980093930.7 | 申请日： | 2019-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN114040808B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | M·诺沃日洛夫;A·伊格纳季耶夫 | 申请（专利权）人： | 梅托克斯技术公司 |
| 主分类号： | B01D1/00 | 分类号： | B01D1/00;C23C14/00;C23C14/24;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京市铸成律师事务所 11313 | 代理人： | 王珺;段丹辉 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了一种干粉MOCVD蒸气源系统，所述系统利用重量分析粉末进料器、进料速率测量和进料器控制系统、蒸发器和装载锁定系统执行薄膜生产的连续运转，特别是REBCO型高温超导体(HTS)带材的薄膜生产的连续运转。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 薄膜 沉积 固体 进料 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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