[发明专利]在基板上沉积材料的方法在审
| 申请号： | 201980097808.7 | 申请日： | 2019-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN114008741A | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 安科·赫尔密西 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34;C23C14/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述一种在基板上沉积材料的方法。所述方法包括从具有第一磁体组件的第一旋转靶材和具有第二磁体组件的第二旋转靶材溅射材料的至少一成分。第一旋转靶材内的第一磁体组件在朝向第二旋转靶材的第一方向上提供第一等离子体约束。第二旋转靶材内的第二磁体组件在朝向第一旋转靶材的第二方向上提供第二等离子体约束。 | ||
| 搜索关键词： | 基板上 沉积 材料 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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