[发明专利]一种激光热模光刻胶用显影液及其制备方法在审
| 申请号： | 202010000989.1 | 申请日： | 2020-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN111580357A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 王正伟;魏劲松;王阳;张奎;陈国东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种激光热模光刻胶用显影液及其制备方法,基于激光热模光刻胶刻蚀机理，配制了新型Te基硫化物热模光刻胶显影液，其主要由氧化性离子组成，并可通过酸性溶液调节PH值达到更好的显影效果；后经对激光曝光后的热模光刻胶进行显影、检测，可实现微米到纳米尺度微纳结构制备。本发明可作为热模光刻胶的新型环保显影液，可实现高效、高对比度微纳结构的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 光刻 显影液 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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