[发明专利]具有空间限制作用阻变存储器的制备方法在审
| 申请号： | 202010001634.4 | 申请日： | 2020-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN111146341A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 李明逵;徐文彬;吴梦春 | 申请（专利权）人： | 集美大学 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 黄斌 |
| 地址： | 361000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有空间限制作用阻变存储器的制备方法，该制备方法将阻变材料形成工艺遮蔽层的纳米孔隙中，纳米孔隙定位了阻变材料的生长，消除导电细丝分布的随机性，纳米孔隙的深度决定了阻变材料层的高度，即导电路径长度，进而决定了开态低阻态阻值，再借助氧气及后金属退火处理工艺，降低阻变材料层中氧空位浓度，提高了开关阻值比和改善阻变存储器稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 空间 限制 作用 存储器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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