[发明专利]一种LED外延片及其制备方法在审
| 申请号： | 202010002935.9 | 申请日： | 2020-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN111009599A | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 滕龙;霍丽艳;吴洪浩;刘兆 | 申请（专利权）人： | 江西乾照光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/20 | 分类号： | H01L33/20;H01L33/06;H01L33/12;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 夏菁 |
| 地址： | 330103 江西省南*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种LED外延片及其制备方法，包括：提供衬底；对所述衬底进行加热，并采用氮化气体对所述衬底进行氮化处理，以在所述衬底表面形成翘曲控制层，其中所述氮化气体至少包括氨气；在所述翘曲控制层表面依次形成N型半导体层、多量子阱层和P型半导体层。对衬底进行加热，并采用氮化气体对衬底进行氮化处理，使得氨气与衬底表面的一些化学键结合，形成晶格常数介于衬底和半导体层中间的物质即翘曲控制层，减少衬底和半导体层之间因晶格失配产生的压应力或张应力，进而减小和改变LED外延片的翘曲，提高LED外延片的波长均匀性，提高LED外延片的良率，节约后续形成的LED芯片的分选成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 led 外延 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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