[发明专利]显示面板制作方法和显示面板有效
| 申请号： | 202010003793.8 | 申请日： | 2020-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN111180333B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 张民;张振宇;顾维杰;左警帅;郭志林;张福爽 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/3205 | 分类号： | H01L21/3205;G03F7/20;G03F7/38;G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 张书涛 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开一种显示面板制作方法和显示面板。首先在所述基底表面形成光阻层。然后对所述光阻层图案化处理，在经过图案化处理后的所述光阻层曝光处理。最后在曝光处理后的所述光阻层远离所述基底的表面形成金属层。由于经过曝光处理后的所述光阻层远离所述基底的表面含氮基团的数量会减小或消失，因此在所述光阻层远离所述基底的表面形成所述金属层时，所述金属层不会与所述含氮基团反应生成络合物，从而不会影响所述光阻层的平整性，因而能够保证所述显示面板的显示效果，提高了产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 显示 面板 制作方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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