[发明专利]一种钼/钛合金薄膜蚀刻液组合物及其应用有效
| 申请号： | 202010004254.6 | 申请日： | 2020-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN111041489B | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 贾军宝 | 申请（专利权）人： | 易安爱富（武汉）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/26 | 分类号： | C23F1/26;H01L27/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖开*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种钼/钛合金薄膜蚀刻液组合物及其应用，所述蚀刻液组合物包括0.25‑0.45wt%的过硫酸盐、3‑4wt%的过氧化氢、0.05‑0.08wt%的含氟化物、5‑10wt%的磷酸二氢铵、1.0‑2.5wt%的酒石酸、0.3‑0.5wt%的防止侧面腐蚀添加剂2‑氯‑5氯甲基噻唑、2‑5wt%的乙二胺四甲叉膦酸络合剂以及去离子水；pH为5.0‑6.0。各种组分之间并非单独的发挥其作用，而是相互之间协同作为一个整体使得其蚀刻具有适当锥角的蚀刻轮廓，并且在控制相应的CD Loss的条件下能够保证没有钼残留。同时避免侧面腐蚀过大，且避免了钼底切等缺陷导致性能不能满足应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钛合金 薄膜 蚀刻 组合 及其 应用 | ||
【主权项】：
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