[发明专利]掩膜板组件及制作掩膜板组件的方法有效
| 申请号： | 202010006103.4 | 申请日： | 2020-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN111041416B | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 嵇凤丽;朴进山;朱艺丹 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 刘继昂 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜板组件及制作掩膜板组件的方法，掩膜板组件，包括：金属框架，金属框架具有第一作业窗口；金属板，金属板与金属框架层叠设置，金属板与金属框架连接，金属板的部分与第一作业窗口相对，金属板上设有第二作业窗口，第二作业窗口的外轮廓位于第一作业窗口的外轮廓内；精细金属掩膜板，精细金属掩膜板与金属板层叠设置且位于金属板的远离金属框架的一侧，精细金属掩膜板仅与金属框架连接以封挡第二作业窗口。根据本发明的掩膜板组件，可以改善精细金属掩膜板出现褶皱的情况。另外，可以改善本体与精细金属掩膜板之间存在药液残留的情况。另外，可以改善金属板的波动带动精细金属掩膜板而导致精细金属掩膜板出现褶皱的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 组件 制作 方法 | ||
【主权项】：
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