[发明专利]一种掩膜板及其制作方法有效
| 申请号： | 202010006257.3 | 申请日： | 2020-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN111088474B | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 张元其;杜森;罗昶;嵇凤丽;杨晓宇;徐倩 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种掩膜板及其制作方法，用于改善因掩膜板框架与遮挡板之间存在的间隙对OLED显示面板良率的影响。掩膜板包括：框架、至少一个掩膜片、遮挡板。框架包括多个边框，多个边框依次首尾相接围设成具有第一镂空区的框架。其中，多个边框包括第一边框。掩膜片跨过框架的镂空区，与框架的第一边框固定。遮挡板具有多个第二镂空区，沿框架厚度方向，第二镂空区的正投影位于第一镂空区的正投影范围内。遮挡板设置于掩膜片靠近框架一侧，且遮挡板固定于框架上。框架的正投影的内边缘位于遮挡板的正投影的范围内。框架与遮挡板重叠的第一区域的厚度小于框架中用于与掩膜片固定的第二区域的厚度。第二区域靠近框架的外边缘。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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