[发明专利]一种全固态绝缘透波PVD膜层及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202010006682.2 | 申请日： | 2020-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN111057996B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 彭长明;蔡明 | 申请（专利权）人： | 创隆实业（深圳）有限公司;华为技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/35;C23C14/06;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 王新爱 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于PVD溅射技术领域，公开了一种全固态绝缘透波PVD膜层及其制备方法和应用。本发明的的全固态绝缘透波PVD膜层包括Si‑M‑N层；任选地，所述Si‑M‑N层上还有Si‑M‑C层或/和L‑O层，Si‑M‑N层作为打底层；其中，所述M为钨或铬或钛，L为硅、钛、铝、铬或锆；制备方法包括以下步骤：(1)将基材进行液态清洗；(2)放置于磁控溅射镀膜机内预抽真空；(3)在磁控溅射镀膜机内进行辉光清洗；(4)在磁控溅射镀膜机内进行膜层沉积；(5)在真空状态下冷却至室温，出炉。本发明工艺中涂层材料整体具备优良的绝缘性能，同时其本身并非常规电介质涂层的可见光波段透明，而是呈现其本征颜色，可在异质基材上呈现一体化装饰效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固态 绝缘 pvd 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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