[发明专利]处理机台及其处理方法有效
| 申请号： | 202010009430.5 | 申请日： | 2020-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN111122586B | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;张鹏斌;范铎;刘建鹏;张嵩 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/89;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 陈烨;张印铎 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种处理机台及其处理方法，包括：安装板，包括承载区，所述承载区用于承载待处理样品；所述安装板具有安装面，所述安装面用于暴露出所述待处理样品的待处理面，所述安装面朝向安装板的第一侧；第一滑动机构，所述安装板可滑动地设置在所述第一滑动机构上，所述安装板在所述第一滑动机构上沿第一滑动轨迹滑动，所述第一滑动机构位于所述安装板的安装面一侧，所述安装板承载区第一侧具有容纳空间；位于所述容纳空间中的处理装置，用于对所述待处理面进行处理；本申请实施方式提供了一种稳定性高的处理机台及其处理方法。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 机台 及其 方法 | ||
【主权项】：
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