[发明专利]一种铌酸锂光波导器件及其制备方法在审
| 申请号： | 202010012639.7 | 申请日： | 2020-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN111175892A | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 帅垚;高琴;吴传贵;罗文博;乔石珺;张万里 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/122 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 闫树平 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种铌酸锂光波导器件的制备方法，属于光通信技术领域。本发明引入新的包层结构，通过离子注入、旋涂BCB、键合、退火等工艺获得微米量级的铌酸锂薄膜光波导器件，工艺上利于脊型波导的制备，并且最终制备的光波导有效减少了传输损耗，增大光的束缚性；本发明选用BCB作为键合介质材料，常温下作为粘合剂，能够将铌酸锂薄膜与衬底有效结合在一起，退火后BCB固化，并作为波导包层，后续对铌酸锂薄膜的掩膜刻蚀工艺简便，也不会对铌酸锂薄膜造成损坏；铌酸锂的光折射率为2.2，大于BCB的折射率1.5并大于空气的折射率1，可以将光很好的约束在波导中，从而不需要进行质子交换即可实现优异的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铌酸锂光 波导 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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