[发明专利]一种超高时间分辨原位5D TEM测试装置及其使用方法有效
| 申请号： | 202010013495.7 | 申请日： | 2020-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN111463095B | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 刘晓伟;杨宝朔 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22;H01J37/26;G01N23/04;G01N23/20025 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 张宇 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超高时间分辨原位5D TEM测试装置及其使用方法，属于纳米原位5D TEM测试技术领域，包括：激光模块、原位操作模块、成像模块及观察和记录模块，激光模块包括飞秒激光器、纳秒激光器、数字延迟生成器和反射镜片，原位操作模块包括样品杆和综合操作台，成像模块包括光电阴极、偏转线圈、聚光镜、物镜、中间镜、投影镜，观察和记录模块包括荧光屏和高速摄像机。本发明提供的装置和使用方法将对样品的三维空间变换、360°旋转与纳秒级超高时间分辨相结合，同时还能进行力电性能测试，实现了在超高的空间和时间分辨下对样品的原位TEM测试与表征，具有极大的灵活性和精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高 时间 分辨 原位 tem 测试 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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