[发明专利]一种超声换能器阵列在审
| 申请号： | 202010020585.9 | 申请日： | 2020-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN111359861A | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 鲁瑶;万里兮 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06;G01N29/24;A61B8/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王中苇 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种超声换能器阵列，包括：第一填充物(1)、阵元(2)、互连线(3)以及金属凸点(4)；第一填充物(1)填充阵元(2)的间隙，还构成超声换能器阵列的至少两个边缘面；金属凸点(4)与第一填充物(1)正对设置，且互连线(3)连接金属凸点(4)与相邻阵元(2)。通过本发明提供的通过互联线(3)可以将金属凸点(4)从阵元(2)的下方转移到第一填充物(1)的下方，进而可以降低金属凸点(4)对超声换能器阵列声学性能的影响，进而在实现高密度超声换能器阵列封装的同时提高该超声换能器阵列的声学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超声 换能器 阵列 | ||
【主权项】：
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