[发明专利]电光调制器及其制作方法有效
| 申请号： | 202010021720.1 | 申请日： | 2020-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN111061071B | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 罗毅;刘学成;熊兵;孙长征;郝智彪 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G02F1/03 | 分类号： | G02F1/03;G02F1/035 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 梁少微;王丽琴 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电光调制器及其制作方法，该电光调制器包括在低介电常数衬底上至下而上依次排列的低介电常数键合层、铌酸锂波导结构、在微波共面波导传输线的基础上加载形成的周期性金属电极。采用本发明能够降低针对电极间距引起的微波损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 电光 调制器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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