[发明专利]一种具备完全对称式差分电容角度反馈的微镜有效
| 申请号： | 202010021829.5 | 申请日： | 2020-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN111204701B | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 李欢欢;白民宇;郭迪;李晓晓;马力;彭磊 | 申请（专利权）人： | 西安知象光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 党桃桃 |
| 地址： | 710077 陕西省西安市高新区丈八街*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及微纳光学器件领域，具体涉及一种具备完全对称式差分电容角度反馈的微镜，包括基座，基座上表面设置有第一绝缘层，第一绝缘层的上表面设置有第一固定层，第一固定层的上表面设置有第二绝缘层，第二绝缘层的上表面设置有反射元件层，反射元件层的上表面设置有第三绝缘层，第三绝缘层的上表面设置有第二固定层，第二固定层的上表面设置有第四绝缘层，第四绝缘层上设置有焊盘。本方案微镜中集成了角度传感器，结构紧凑、功耗低、工艺兼容性高；结构同时具备竖直和平面对称性，驱动可靠易行，检测信噪比高，显著降低了检测信号处理电路的复杂度；可适用于从低频到高频的应用需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具备 完全 对称 式差分 电容 角度 反馈 | ||
【主权项】：
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