[发明专利]大口径熔石英玻璃低损伤阈值缺陷的测量装置和测量方法在审
| 申请号： | 202010025626.3 | 申请日： | 2020-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN111007052A | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 王圣浩;李灵巧;刘世杰;倪开灶;邵建达 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种大口径熔石英元件低阈值缺陷的测量装置和测量方法，系统通过探测缺陷的荧光光谱，来识别大口径熔石英元件上的低阈值缺陷。与现有普遍采用的光热弱吸收测量方法相比，本发明可以把低阈值缺陷的测量速度提高上万倍。 | ||
| 搜索关键词： | 口径 石英玻璃 损伤 阈值 缺陷 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
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