[发明专利]一种微帕量级水汽发生器及其应用有效

专利信息
申请号: 202010026709.4 申请日: 2020-01-10
公开(公告)号: CN111013491B 公开(公告)日: 2021-08-13
发明(设计)人: 伏晓国;娄元付;赵正平;张冬旭;钟永强;董豪鹏 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院材料研究所
主分类号: B01J3/04 分类号: B01J3/04;B01J7/00;G01N17/00
代理公司: 绵阳山之南专利代理事务所(普通合伙) 51288 代理人: 沈强
地址: 621000 四*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种微帕量级水汽发生器及其应用,目的在于解决现有技术进行水汽反应时,采用载气带水产生水汽的方式,其需要的水量在几克以上的数量级,当进行超高真空环境下(低于10‑4Pa)微量水汽反应时,难以进行水汽分压精确控制的问题。本申请的水汽发生器以冰升华产生的水汽作为反应原料,能使所产生的水汽达到微帕级别,足以满足微量反应的需求。本申请的水汽发生器避免了载气的使用,能够极大降低原料水的需求量,满足微量反应的需求。进一步,本申请请求保护该微帕量级水汽发生器在水汽发生领域的应用。
搜索关键词: 一种 量级 水汽 发生器 及其 应用
【主权项】:
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