[发明专利]一种耐高温类金刚石膜层的生产工艺在审
| 申请号： | 202010026743.1 | 申请日： | 2020-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN111041430A | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 张心凤;夏正卫;范宏跃 | 申请（专利权）人： | 安徽纯源镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 合肥九道和专利代理事务所(特殊普通合伙) 34154 | 代理人： | 李蕾 |
| 地址： | 230000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种耐高温类金刚石膜层的生产工艺，包括将基底材料装配在真空容器内，对真空容器进行抽真空，抽真空后先采用离子束清洗工艺对基底材料的表面进行离子束清洗处理，然后再采用纯离子真空镀膜工艺对离子束清洗处理后的表面进行纯离子真空镀膜处理，所镀膜层为类金刚石Ta‑C膜层。本发明提供的上述技术方案，在纯离子真空镀膜前，采用离子束清洗工艺对基底材料的表面进行清洗处理，使得基底材料表面吸附的气体分子被完全去除，这样显著提高膜层材料的结合强度。同时，纯离子真空镀膜的镀膜工艺温度要求较低，满足绝缘材料的耐温性能需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 耐高温 金刚石 生产工艺 | ||
【主权项】：
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