[发明专利]一种高灵敏度的振动传感器有效
申请号: | 202010027154.5 | 申请日: | 2020-01-10 |
公开(公告)号: | CN111337119B | 公开(公告)日: | 2021-01-15 |
发明(设计)人: | 孙成亮;胡博豪;吴志鹏;王磊;林炳辉;朱伟;占惠花 | 申请(专利权)人: | 武汉敏声新技术有限公司 |
主分类号: | G01H11/08 | 分类号: | G01H11/08 |
代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人: | 杨晓燕 |
地址: | 430076 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种高灵敏度的振动传感器,包括具有空腔的衬底和多个压电悬臂梁,空腔的底面中心设置有固定柱,多个悬臂梁围成信号接收区域,通过固定柱固定在衬底上方;压电悬臂梁包括固定端和自由端,自由端的宽度大于固定端,固定端固定在固定柱上,自由端悬置于空腔上方,且相邻的压电悬臂梁之间设置有间隙;该传感器还包括带有凹槽的封帽,封帽的槽沿与压电悬臂梁的自由端相连接。凹槽的截面可为任意形状,优选底面与侧壁夹角大于90°的梯形。本发明通过封帽将振动信号产生载荷集中在压电悬臂梁自由端,会使压电悬臂梁受到的弯矩更大,压电悬臂梁的挠曲程度更大,且夹角大于90°时能够产生较大的横向载荷,有效提高振动传感器的灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 一种 灵敏度 振动 传感器 | ||
【主权项】:
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