[发明专利]基于白光干涉法的晶圆膜厚测量装置在审
| 申请号： | 202010029938.1 | 申请日： | 2020-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN111189398A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 郑永军;狄韦宇;陆艺 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 杭州奥创知识产权代理有限公司 33272 | 代理人： | 王佳健 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于白光干涉法的晶圆膜厚测量装置。该装置主要由白光光源、光谱仪、准直器、光纤传输单元、PC组成。基于白光干涉法，可以实现对晶圆膜厚的无损测量，时间快、设备小巧、操作简单、精度高，适合实验室检测。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 白光 干涉 晶圆膜厚 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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