[发明专利]检查装置在审
| 申请号： | 202010030587.6 | 申请日： | 2020-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN111487260A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 能丸圭司;泽边大树 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | G01N22/00 | 分类号： | G01N22/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供检查装置，其能够利用微波适当地对被加工物进行检查。该检查装置对被加工物照射微波，并且对微波的照射位置照射激光光线而接收在通过因光激发产生的载流子而提高了反射率的该照射位置发生了反射的微波，测量载流子寿命，从而检查被加工物的特性。检查装置包含：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；微波照射单元，其对卡盘工作台所保持的被加工物照射微波；微波接收单元，其接收在被加工物上发生了反射的微波；以及激光光线照射单元，其对被照射了微波的照射位置照射激光光线。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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