[发明专利]一种通过式全自动晶棒四线开方四面磨削抛光装置在审
申请号: | 202010032046.7 | 申请日: | 2020-01-13 |
公开(公告)号: | CN111113704A | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 徐公志;刘克村;郭世锋;王新辉;尹美玲 | 申请(专利权)人: | 青岛高测科技股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D5/04;B24B27/00;B24B29/02;B24B41/06;B24B55/00 |
代理公司: | 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11624 | 代理人: | 郭智 |
地址: | 266114 山东省青*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明属于硅棒加工技术领域,特别涉及一种通过式全自动晶棒四线开方四面磨削抛光装置,包括底座、沿底座长度方向上设置的四线开方组件和磨抛组件、以及设置在底座一侧的上下料组件;所述四线开方组件旁设有绕排线组件;所述绕排线组件有两个,设置在所述四线开方组件两侧;所述四线开方组件和所述磨抛组件之间设有对中组件;所述磨抛组件一侧设有夹持组件。本发明加工工序集中,节约了人工转运成本,工件精度保持性好,加工效率高,可大大提高产能。 | ||
搜索关键词: | 一种 通过 全自动 晶棒四线 开方 四面 磨削 抛光 装置 | ||
【主权项】:
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