[发明专利]蒸镀装置在审
| 申请号： | 202010032759.3 | 申请日： | 2020-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN113122808A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 林文晶;钱海涛;轩景泉 | 申请（专利权）人： | 上海升翕光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 冯伟 |
| 地址： | 200540 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括坩埚，具有蒸发槽；盖板，盖设于蒸发槽上；喷嘴组，与蒸发槽连通，喷嘴组包括第一喷嘴组和第二喷嘴组，第二喷嘴组设置于第一喷嘴组的两端；第一喷嘴组包括多个第一喷嘴和两个端部喷嘴，第二喷嘴组包括多个第二喷嘴，端部喷嘴位于第一喷嘴组沿排列方向的端部，端部喷嘴分别与第一喷嘴和第二喷嘴邻接；端部喷嘴和与其相邻的第一喷嘴或第二喷嘴之间的间距为第一间距，相邻两个第一喷嘴之间的间距为第二间距，相邻两个第二喷嘴之间的间距为第三间距，第一间距大于第二间距，第二间距大于第三间距。本申请提供的蒸镀装置有效地提高了基材的蒸镀质量，特别是基材边缘的蒸镀质量。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
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