[发明专利]激光切割用保护膜剂及其制造方法和被加工物的加工方法有效

专利信息
申请号: 202010035445.9 申请日: 2020-01-14
公开(公告)号: CN111454635B 公开(公告)日: 2022-08-12
发明(设计)人: 梁仙一;大浦幸伸;吉田博斗;远藤智章 申请(专利权)人: 株式会社迪思科
主分类号: H01L21/302 分类号: H01L21/302;B23K26/18;C09D139/08;C09D5/32;C09D7/63;C09D5/20
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 乔婉;黄纶伟
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供激光切割用保护膜剂及其制造方法和被加工物的加工方法。包含紫外线吸收剂的保护膜剂在长时间保管时,紫外线吸收剂的紫外线的吸收特性、发光特性等功能会随着时间的经过而降低。例如存在在曝光条件下、高温条件下或碱性条件下,紫外线吸收剂的功能在比较短的期间内降低的问题。因此,本发明的目的在于提供激光切割用保护膜剂,与以往的保护膜剂相比,包含紫外线吸收剂的保护膜剂的功能不容易随着时间经过而降低。根据本发明的一个方式,提供激光切割用保护膜剂,其由至少混合水溶性树脂、有机溶剂以及紫外线吸收剂而得的溶液构成,溶液的Na的含量以重量比计为100ppb以下。
搜索关键词: 激光 切割 保护膜 及其 制造 方法 加工
【主权项】:
暂无信息
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