[发明专利]一种扫描探针及其制备方法在审
| 申请号： | 202010037866.5 | 申请日： | 2020-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN111157767A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 孙秋娟;周义欣;王慧山 | 申请（专利权）人： | 上海新克信息技术咨询有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/16 | 分类号： | G01Q60/16 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201703 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于新型扫描隧道显微镜的新型扫描探针及其制备方法，所述扫描探针包括：探针本体，所述探针本体包括针尖和承载所述针尖的微悬臂，所述微悬臂设有上表面和与所述上表面对应的下表面，所述针尖连接于所述微悬臂的上表面靠近端部；覆盖所述微悬臂的上表面以及所述针尖的金属导电层；覆盖所述金属导电层的绝缘层；覆盖所述微悬臂的下表面的金属反射层。通过引入绝缘层，形成一种新型扫描探针，能够实现通过原子力大小对扫描探针与样品间是否接触、接触距离等的反馈控制，拓宽扫描隧道显微镜的应用领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 探针 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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