[发明专利]一种具有自极化行为的PbZrO3

摘要

本发明涉及一种具有自极化行为的PbZrO3/Al2O3异质结构复合薄膜及其制备方法，属于无机功能电子材料领域。为解决现有反铁电体制备工艺复杂且对剩余极化提高效果不显著的问题，本发明提供了一种具有自极化行为的PbZrO3/Al2O3异质结构复合薄膜，包括由PbZrO3薄膜构成的顶膜和由Al2O3薄膜构成的底膜，所述顶膜和底膜经晶化处理相复合。本发明通过具有不同费米能级的反铁电PbZrO3和氧化铝Al2O3，构筑了PbZrO3/Al2O3异质结构复合薄膜，实现了铁电自极化，其剩余极化强度增至42.5μC/cm2。同时复合薄膜的绝缘特性得到改善，抗疲劳性增强，使其能够应用于非挥发性随机存储器。