[发明专利]镀膜设备和镀膜设备的工作方法

摘要

本发明提供了一镀膜设备和镀膜设备的工作方法，其中所述镀膜设备供至少一待镀膜工件镀膜，其中所述镀膜设备包括一反应腔体、一气体供给部、一真空抽气装置以及一非对称双极性脉冲电源，其中所述反应腔体具有一反应腔，所述反应腔用于容纳该待镀膜工件，其中所述气体供给部用于向所述反应腔供给气体，其中所述真空抽气装置被可连通于所述反应腔地连接于所述反应腔体，其中所述非对称双极性脉冲电源用于向所述反应腔提供电场，当所述非对称双极性脉冲电源被连通，所述反应腔室内产生等离子体以增强气体的化学反应以在该镀膜工件表面形成膜层。