[发明专利]双真空室离子束加工系统及加工方法在审
| 申请号： | 202010045190.4 | 申请日： | 2020-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN111223738A | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 宫文;孙建坤 | 申请（专利权）人： | 云南展凡科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266 | 代理人： | 李斌 |
| 地址： | 650100 云南省昆*** | 国省代码： | 云南;53 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种双真空室离子束加工系统及加工方法，属于离子束加工技术领域，包括相互连通的离子源真空室和工件真空室，所述工件真空室内设有：工件翻移组件，吊装在工件真空室内，用于固定待加工工件，并带动待加工工件在工件真空室内移动、翻转。所述工件翻移组件包括：工件卡盘；工件翻转车，与所述工件卡盘连接以带动工件卡盘翻转；直线模组，用于固定所述工件翻转车，以使工件翻转车移动。本发明上料时只需将工件固定在该工件真空室的工件翻移组件上，通过工件翻移组件带动工件在工件真空室内移动，无需将工件输送至离子源真空室内，上料简单；通过工件翻移组件带动工件翻转，安装拆卸方便，提高了工作效率，降低了工作强度。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 离子束 加工 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于云南展凡科技有限公司，未经云南展凡科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010045190.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种网络数据传输用信号增强器
- 下一篇：可组合型爬壁式船舶智能激光除锈设备
