[发明专利]晶圆薄膜的生长方法、炉管晶圆排布系统以及挡片

摘要

本申请公开了一种晶圆薄膜的生长方法炉管晶圆排布系统，该排布系统包括：炉管；晶舟，位于炉管中，晶舟包括多个放置槽；第一挡片和第二挡片，分别位于晶舟的一端；多个产品片，位于晶舟中，多个产品片的表面均具有薄膜；其中，第一挡片和第二挡片的表面具有与产品片相同类型的薄膜，多个产品片位于第一挡片和第二挡片之间，多个产品片中的部分产品片与第一挡片或第二挡片相邻。通过将挡片与产品片相邻设置，从而防止产品片与不同类型的晶圆直接接触，可以有效避免因热辐射差异造成的产品片厚度超差，可使产品片的厚度更加均匀，一致性更好，提高产品片良品率的同时极大程度的提升了产品品质。