[发明专利]一种提升液体金属有机源使用量的装置在审
| 申请号： | 202010047059.1 | 申请日： | 2020-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN111120866A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 俞冬雷 | 申请（专利权）人： | 安徽亚格盛电子新材料有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/00 | 分类号： | F17D1/00 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 胡定华 |
| 地址： | 241009 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种提升液体金属有机源使用量的装置，包括备用钢瓶，备用钢瓶上设置有备用钢瓶进气阀门、备用钢瓶出气阀门及备用钢瓶旁路阀，备用钢瓶进气阀门和备用钢瓶出气阀门分别设置在备用钢瓶上端两侧，备用钢瓶旁路阀设置在备用钢瓶进气阀门和备用钢瓶出气阀门之间，备用钢瓶旁设置有使用瓶，使用瓶上设置有使用瓶进气阀门、使用瓶出气阀门以及使用瓶旁路阀，使用瓶进气阀门和使用瓶出气阀门设置在使用瓶的上端两侧，使用瓶旁路阀设置在使用瓶进气阀门和使用瓶出气阀门之间，备用钢瓶直接在室温下使用，使用瓶设置在恒温水槽内使用。备用瓶在使用瓶正常使用剩余30%以内切换至备用瓶模式。简化装置、降低成本、提高安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提升 液体 金属 有机 使用 装置 | ||
【主权项】：
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