[发明专利]一种基于液氮制冷的升降温便携式样品台装置

摘要

本发明公开了一种基于液氮制冷的升降温便携式样品台装置，包括腔体、腔体内制冷装置、腔体外冷却装置、控制显示装置及样品固定装置，所述腔体内制冷装置包括支撑柱及设置在支撑柱上的S型紫铜盘管，所述腔体外冷却装置包括氮气罐、液氮罐、紫铜盘管及紫铜管，所述紫铜盘管设置在液氮罐内，且与氮气罐之间通过连接管道相连通，所述紫铜盘管与S型紫铜盘管之间通过紫铜管连通。本发明的有益效果是：该装置设计巧妙，结构合理，使用方便，运用本装置为样品进行温度调节，方便满足了不同基材对加工温度的需求，扩大了真空镀膜机所能加工的的样品种类范围，对真空镀膜的研究领域具有重要的意义。